服務(wù)支持Service
To first-class products
Quality service to meet customer needs
國(guó)內(nèi)市場(chǎng)部
0510-83205379
24小時(shí)服務(wù)
國(guó)際貿(mào)易部
0510-68795132 15106177808
傳 真：0510-83213469
E-mail：wuxi@chxyq.com
地 址：江蘇省無(wú)錫市濱湖區(qū)梁通路19號(hào)免費(fèi)咨詢(xún)熱線(xiàn):
400-0833-980
碳硫儀準(zhǔn)確分析光刻機(jī)中碳化硅陶瓷原材料碳硫含量
發(fā)布時(shí)間：2023-09-04 10:46:40 點(diǎn)擊：5024
碳硫儀這款專(zhuān)用于碳硫分析的儀器再次映入制造企業(yè)的眼簾。新能源的高速發(fā)展，光刻機(jī)的制造，碳化硅材料得到廣泛的應(yīng)用，為有效檢測(cè)碳化硅含量，提供了檢測(cè)方法。
碳化硅陶瓷原料的檢測(cè)，針對(duì)碳化硅材料的碳元素檢測(cè)，推算碳化硅的成分占比。這對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是非常重要的。
碳化硅陶瓷是光刻機(jī)用精密陶瓷部件的選用材料。碳化硅陶瓷具有高的彈性模量和比剛度，不易變形，并且具有較高的導(dǎo)熱系數(shù)和低的熱膨脹系數(shù)，熱穩(wěn)定性高，因此碳化硅陶瓷是一種優(yōu)良的結(jié)構(gòu)材料，目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于航空、航天、石油化工、機(jī)械制造、核工業(yè)、微電子工業(yè)等領(lǐng)域。
碳化硅材料的光刻機(jī)應(yīng)用-碳硫儀檢測(cè)
但是，由于碳化硅是Si-C鍵很強(qiáng)的共價(jià)鍵化合物，具有極高的硬度和顯著的脆性，精密加工難度大；此外，碳化硅熔點(diǎn)高，難以實(shí)現(xiàn)致密、近凈尺寸燒結(jié)。因此，大尺寸、復(fù)雜異形中空結(jié)構(gòu)的精密碳化硅結(jié)構(gòu)件的制備難度較高，限制了碳化硅陶瓷在諸如集成電路這類(lèi)的高端裝備制造領(lǐng)域中的廣泛應(yīng)用。目前只有日本、美國(guó)等少數(shù)幾個(gè)發(fā)達(dá)國(guó)家的少數(shù)企業(yè)（如日本的Kyocera、美國(guó)的CoorsTek等）成功地將碳化硅陶瓷材料應(yīng)用于集成電路制造關(guān)鍵裝備中，如光刻機(jī)用碳化硅工件臺(tái)、導(dǎo)軌、反射鏡、陶瓷吸盤(pán)、手臂等。
除此外，碳化硅材料也在磨料、耐火材料、冶金原料中得以廣泛應(yīng)用，針對(duì)碳化硅材料的檢測(cè)，使用創(chuàng)想儀器紅外碳硫儀，可進(jìn)行高效檢測(cè)，滿(mǎn)足廣大制造企業(yè)的檢測(cè)需求。
上一篇：X熒光光譜儀檢測(cè)食用油重金屬含量 下一篇：鈾元素的危險(xiǎn)性 X熒光光譜儀檢測(cè)
